Nb2O5薄膜的溶胶凝胶法制备

被引：6

作者：

吴云

胡丽丽

姜中宏

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所

来源：

硅酸盐学报 | 1997年 / 03期

关键词：

溶胶凝胶法，氧化铌膜，金属醇盐;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1997.03.004

中图分类号：

O648.17 [凝胶及软胶];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

以金属醇盐（Ｎｂ（ＯＥｔ）５）为前驱体获得涂膜液，采用浸渍提拉法（ｄｉｐ－ｃｏａｔｉｎｇ）制备Ｎｂ２Ｏ５薄膜；研究了不同催化环境对涂膜液溶胶的影响，不同涂膜次数样品的反射透过情况，并由此推算了薄膜的厚度及折射率。ＸＲＤ结果表明：５６０℃热处理１ｈ后得到正交晶相的Ｎｂ２Ｏ５薄膜；Ｎｂ２Ｏ５薄膜着色为淡黄色。

引用

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