学术探索
学术期刊
新闻热点
数据分析
智能评审
立即登录
智能化电容式薄膜厚度在线检测仪
被引:2
作者
:
刘冬春
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
天津理工学院
刘冬春
齐轩琴
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
天津理工学院
齐轩琴
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
吴小津
郑义忠
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
天津理工学院
郑义忠
机构
:
[1]
天津理工学院
[2]
天津大学精仪学院
来源
:
计量技术
|
1998年
/ 12期
关键词
:
非接触,电容测微仪,智能化;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O484.5 [薄膜测量与分析];
学科分类号
:
摘要
:
本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例,简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。
引用
收藏
页码:7 / 9
页数:3
相关论文
共 1 条
[1]
MCS-51单片微型计算机.[M].李 勋;李新民编著;.天津科技翻译出版公司.1988,
←
1
→
共 1 条
[1]
MCS-51单片微型计算机.[M].李 勋;李新民编著;.天津科技翻译出版公司.1988,
←
1
→