智能化电容式薄膜厚度在线检测仪

被引:2
作者
刘冬春
齐轩琴
吴小津
郑义忠
机构
[1] 天津理工学院
[2] 天津大学精仪学院
关键词
非接触,电容测微仪,智能化;
D O I
暂无
中图分类号
O484.5 [薄膜测量与分析];
学科分类号
摘要
本文介绍了用电容测微仪和单片机构成的薄膜厚度在线检测系统。重点介绍了非接触式电容传感器原理及在本系统中的应用实例,简要说明了单片机的组成及与电容测微仪的接口。
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共 1 条
[1]  
MCS-51单片微型计算机.[M].李 勋;李新民编著;.天津科技翻译出版公司.1988,