共 1 条
超薄金属膜电阻率尺寸效应
被引：10
作者：
唐兆磷
黄荣芳
闻立时
机构：
[1] 中国科学院金属研究所
来源：
关键词：
超薄膜;
电阻率;
尺寸效应;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
研究了超薄铝膜的厚度与电阻率晶粒度之间的关系结果表明：随薄膜平均厚度减小，晶粒度减小，电阻率增大，呈现尺寸效应.综合利用F－S模型，M－S模型以及Matthiessen定则定量分析了表面和晶界的电子散射对电阻车尺寸效应的贡献.
引用
收藏
页码：438 / 440
页数：3
相关论文