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像差在临界角方法探焦技术中的影响
被引：4
作者：
侯澍
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
来源：
关键词：
临界角方法,焦点误差测量,像差,测量灵敏度;
D O I：
暂无
中图分类号：
O439 [应用光学];
学科分类号：
摘要：
分析了在临界角方法探焦技术中像差对测量灵敏度的影响。并给出了对两个显微物镜测量的结果。焦点探测试验精度为±１×１０－２μｍ。
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