粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析

被引：6

作者：

林鹏，陈小强，袁祥辉

机构：

[1] 重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室

来源：

关键词：

粗光栅，细分误差，来源与消除;

D O I：

10.16428/j.cnki.cn11-4827/t.1996.01.009

中图分类号：

TH741.6 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发，对里周期性变化的细分误差作了详细的理论分析，并得到了实验的验证．同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法，为进一步研制高精度数显系统打下基础。

引用

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