基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究

被引：8

作者：

曲东升

孙立宁

王建国

秦昌

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机器人研究所

[2] 哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司

[3] 哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司哈尔滨

[4] 哈尔滨

来源：

压电与声光 | 2002年 / 06期

关键词：

压电陶瓷致动器; 精密定位; 闭环控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台,并利用有限元分析法对机构进行了优化设计,采用电阻应变片作为微位移检测传感器,在此基础上设计了闭环控制器,该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和中央处理单元,最后利用PID控制法进行了闭环控制实验研究。实验结果表明,本系统具有较好的控制品质和优异的动态性能,在对10μm×10μm两自由度工作台的控制中,闭环控制精度达10nm,阶跃响应的稳定时间小于8ms。

引用

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