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激光光刻成型法在微型机械研究中的应用
被引：8
作者：
沈连官，王翔，邓益民
机构：
[1] 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
来源：
关键词：
微型机械；激光光刻；CAD／CAM；感光树脂;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN249 [激光的应用];
学科分类号：
0803 ;
080401 ;
080901 ;
摘要：
本文扼要介绍了现阶段国内外用于研制微型机械的主要方法，着重介绍了激光光刻成型法的基本原理、制作微型机械的工艺途径、技术特色及其应用前景。
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