光谱仪的微型化及其应用

被引：30

作者：

史俊锋

惠梅

王东生

毛文炜

机构：

[1] 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京

[3] 北京

来源：

光学技术 | 2003年 / 01期

关键词：

微型光机电系统; 微型光谱仪; 芯片系统;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2003.01.004

中图分类号：

TH744.1 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微型光机电系统制作工艺,分析了几类微型光谱仪的制作难点及其设计方案的可行性。探讨了在分辨率要求不太高的情况下微型光谱仪的多个潜在应用领域。

引用

页码：13 / 16+20 +20

页数：5

共 8 条

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