基于MEMS微加工技术的高灵敏度隧道传感器的研究(英文)

基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展。多种隧道传感器被开始出来,例如加速度计,角速度计,红外传感器,磁性传感器等。首先对基于硅加工的隧道传感进行了简单的总结。对四种传感器进行了总结和讨论,包括几种器件的结构设计,加工过程,器件性能,控制电路和系统噪音。特别介绍了一种新型的基于高分子聚合物的隧道加速度计,并讨论了其结构,加工与测试,隧道效应得到了进一步验证。同时给出了这种新型高灵敏传感器在很多领域的应用展望。