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喷雾热分解法制备ZnO系低压压敏薄膜
被引：9
作者：
贾锐
武光明
宋世庚
陶明德
机构：
[1] 中国科学院新疆物理研究所
来源：
关键词：
氧化锌，低压压敏薄膜，喷雾热分解;
D O I：
10.14062/j.issn.0454-5648.1999.04.019
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
首次利用喷雾热分解法成功地制备出低压ＺｎＯ压敏薄膜．沉积温度３５０℃，沉积时间２ｈ；退火温度６５０℃，退火时间１ｈ．Ｘ射线分析表明薄膜经退火后已良好晶化．其非线性系数α为８．０９；压敏电压Ｖ１ｍＡ为１３．１５Ｖ．实验表明通过制备ＺｎＯ薄膜可得到较低的压敏电压
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页数：3
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