超声微电机传动机理的研究

被引:21
作者
崔天宏,王立鼎,吕琼莹,干东英
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
关键词
超声微电机;瑞利波;转矩;
D O I
暂无
中图分类号
TM38 [微电机];
学科分类号
摘要
提出了一种研究超声微电机传动机理的新方法,把弹性动力学中的瑞利波理论加以延伸应用,揭示了超声传动的本质。在此基础上,建立起对超声微电机设计有指导作用的数学模型。比较了几何分析法和弹性动力学方法,明确了深入研究后者的理论和实践价值,为超声微电机的优化设计提供了理论依据。
引用
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