离子束增强沉积CrN膜层及其微动摩擦学性能研究

被引：10

作者：

唐宾

李咏梅

秦林

吴培强

机构：

[1] 太原理工大学表面工程研究所,太原理工大学表面工程研究所,太原理工大学表面工程研究所,太原理工大学表面工程研究所山西太原,山西太原,山西太原,山西太原

来源：

材料热处理学报 | 2005年 / 03期

关键词：

离子束增强沉积; CrN; 组织结构; 微动摩擦学性能;

D O I：

10.13289/j.issn.1009-6264.2005.03.018

中图分类号：

TG174.45 [无机物复层保护];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

以不同氮离子辅助轰击能量制备CrN膜层,利用纳米压入仪及显微硬度计分别测试单晶Si片上膜层的硬度及断裂韧度K1C,使用XRD、XPS及EPMA分析离子轰击能量对镀层组织结构的影响。结果表明,采用能量较低的氮离子轰击得到的涂层,由于金属Cr的存在,涂层硬度虽有所降低,但断裂韧度K1C数值较高。选择较低的4keV辅助轰击能量,在M2高速钢基体上沉积CrN涂层,膜层在空气介质中表现出优异的耐磨减摩特性。但在水介质条件下,由于膜层接触区域的去钝化再钝化使腐蚀和磨损相互加速,导致CrN膜层摩擦系数,尤其是磨损量明显高于基材。

引用

页码：58 / 60+107 +107

页数：4

共 4 条

[1]

Process and properties of CrN coating deposited on plasma nitrided high-speed steel. Lee Shen-Chin,Ho Wei-yu,Pao Wen-Lon. Surface and Coatings Technology . 1995

[2]

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[4]

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