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石英微机械振动陀螺振子的失效分析
被引：2
作者：
荣丽梅
常嗣和
姬红
阮世池
机构：
[1] 电子科技大学微固学院分析中心
[2] 成都理工大学电镜室
[3] 电子科技大学微固学院分析中心 四川成都
[4] 四川成都
来源：
关键词：
微机械振动陀螺;
振子;
检流计;
微机械惯性器件;
人造石英晶体;
形貌;
惯性技术;
研磨抛光;
晶体表面;
石英;
硅氧矿物;
D O I：
暂无
中图分类号：
V448.23 [制导];
学科分类号：
081105 ;
摘要：
引用
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页码：620 / 621
页数：2
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