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直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)
被引：12
作者：
李凤友
卢振武
谢永军
张殿文
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,应用光学国家重点实验室,吉林长春,应用光学国家重点实
来源：
关键词：
激光直写;
衍射光学元件;
计算全息图和光刻;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN249 [激光的应用];
学科分类号：
080904 [电磁场与微波技术];
摘要：
介绍了具有直角坐标和极坐标写入系统的激光直写设备 ,给出了该设备制作衍射光学元件的光刻特点
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页码：616 / 619
页数：4
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