高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备

被引：26

作者：

鲁健

褚家如

机构：

[1] 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

[2] 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥

来源：

中国科学技术大学学报 | 2002年 / 06期

关键词：

溶胶凝胶法; Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3; 铁电薄膜; 微机电系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

080101 [一般力学与力学基础];

摘要：

采用溶胶凝胶技术 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si衬底上成功制备了沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向的Pb(Zr0 .5 3 ,Ti0 .47)O3 铁电薄膜 .通过X ray衍射分析 ,在每层膜的制备工序中 ,增加6 0 0℃热处理 1 5min的工艺 ,可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂 ,并促进薄膜沿( 1 0 0 )晶向外延生长 .制得的薄膜经 6 0 0℃退火 4h后 ,呈完全钙钛矿相 ,并沿 ( 1 0 0 )晶向强烈取向 .原子力显微照片表明 ,薄膜结构致密 ,晶粒尺寸约为 1 0 0nm .经测量 ,薄膜的相对介电常数高达 1 1 50 ,剩余极化为 2 6 μc/cm2 ,矫顽场强为 4 9kV/cm .

引用

页数：6

共 5 条

[1]

高取向度PZT铁电薄膜的研制 [J].

王西成 ;

曹伟 ;

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莫小洪 .

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