弯曲振动模式压电超声微马达研究

被引：11

作者：

董蜀湘

王树昕

沈文江

李龙土

桂治轮

邱海波

机构：

[1] 清华大学材料科学与工程系!新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室

[2] 北京

[3] 清华大学材料科学与工程系!新型陶瓷与精细工艺国

来源：

声学学报 | 1999年 / 02期

关键词：

超声马达; 压电; 定子端面; 微马达; 马达驱动; 弯曲振动模式; 微动台; 压电陶瓷; 压电马达; 超声波电机; 声徽;

D O I：

10.15949/j.cnki.0371-0025.1999.02.002

中图分类号：

TM38 [微电机];

学科分类号：

080801 ;

摘要：

对一种圆柱状结构、基于弯曲振动模式的压电超声微马达作了一些结构改进性探索和实验研究，并采用有限元方法对其振动模式进行了分析．已研制的直径为15mm、长25mm的微马达样机，显示出非常高的角分辨率（0．01°）、低速（30r／min～70r／min）和大的力矩（0．055N.m）特性，已在激光多维精密控制系统中获得成功的应用．

引用

页码：120 / 121+213 +213-127

页数：7