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铟锡氧化物薄膜的生产现状与应用
被引：59
作者：
刘世友
机构：
[1] 北京有色金属研究总院
来源：
关键词：
铟锡氧化物薄膜；特性；生产工艺；应用；展望;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
介绍了铟锡氧化物（ＩＴＯ）薄膜的特征，主要生产工艺及其在汽车、宇航、建筑、电子、太阳能等领域的应用。并对该材料生产工艺及产品市场的发展前景进行了展望
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页数：4
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