多种基底上溅射沉积ZnO薄膜的结构

被引：5

作者：

贺洪波

范正修

姚振钰

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜技术中心!上海

[2] 不详

[3] 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室!北京

来源：

关键词：

直流磁控溅射; ZnO薄膜; 结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN304 [材料];

学科分类号：

摘要：

在玻璃基底和四种硅基底上用反应式直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜．用AES和XRD对薄膜结构和组分进行测试，结果表明，五种基底上生长的ZnO薄膜在不同程度上都具有优良的纵向均匀性、明显的c轴择优取向和较高的结晶度，而硅基底上薄膜的结构普遍优于玻璃基底上沉积的薄膜。

引用

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