直流气体放电活化反应蒸发沉积SnOx超微粒子薄膜

被引：3

作者：

朱以华

赵大春

戴慕仉

潘孝仁

机构：

[1] 华东化工学院物理系

[2] 华东化工学院精细化工所

来源：

华东化工学院学报 | 1992年 / 05期

关键词：

氧化锡; 蒸发法; 薄膜; 沉积; 粒状结构; 超微粒子;

D O I：

10.14135/j.cnki.1006-3080.1992.05.026

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

制得的SnOx薄膜,用扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析,显示为平均颗粒小于50nm的超微粒子薄膜。其中组成颗粒的晶粒大小平均为5.0～8.0nm。讨论了沉膜过程中基底温度、氧气分压、放电电压、蒸发源温度和反应蒸镀时间对薄膜结构和性质的影响。得到了制备SnO2相含量较高,且接近无色透明的超微粒子薄膜的最佳工艺条件。

引用

页码：678 / 682

页数：5

共 5 条

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