紫外-真空紫外波段的Al+MgF膜

被引：15

作者：

刘颖

李福田

不详

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

光学精密工程 | 2001年 / 02期

关键词：

反射膜; 紫外; 真空紫外; 反射率;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

Al+Mg F2 膜是真空紫外波段常用的一种反射膜。根据薄膜光学的电磁场理论计算了正入射条件下 Al+Mg F2 膜在真空紫外波段的反射率随氟化镁膜厚度的变化规律。研究了 Al+Mg F2 膜的制备工艺 ,利用 Seya-Namioka紫外 -真空紫外反射率计测得 Al+Mg F2 膜的反射率在 1 50 nm～ 34 0 nm的波段上高于 80 %。Al+Mg F2 膜制备一年后 ,其真空紫外波段的反射率未有明显变化

引用

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