基于虚拟仪器的多通道MEMS加速度计自动化测试系统

被引：5

作者：

明安杰 ^{[1
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谭振新 ^{[1
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吴健 ^{[1
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赵敏 ^{[1
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欧文 ^{[1
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陈大鹏 ^{[1
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机构：

[1] 江苏物联网研究发展中心智能集成传感器工程中心

[2] 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心微电子器件与集成技术重点实验室

来源：

红外与激光工程 | 2014年 / 06期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

MEMS加速度计; Labview; 物联网; 自动化测试;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

提出了一种7通道并行测试的MEMS加速度计自动化测试分析系统,该系统高度集成多种功能,实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上,该系统通过上层应用程序Labview实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和供电电源等设备的控制。灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等参数指标,能够在控制终端通过分析测试数据同时获得,并以报表形式输出。在一般情况下,传感器测试效率可达50只/h,大大高于传统的非自动化测试系统。经过评估测试,该测试系统还表现出较高的测试精度及稳定性和可靠性,测试误差小于±2.5%。该自动化测试系统为进一步降低MEMS传感器成本,促进其在物联网领域的大规模应用奠定了基础。

引用

页码：1955 / 1959

页数：5

共 5 条

[1] 基于LabVIEW的多路温湿度测量系统 [J].

周熠 ;

赵修良 .

湖南科技学院学报, 2009, 30 (08) :56-59

[2] 基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪设计 [J].

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董景新 ;

赵长德 ;

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孔星炜 .

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[3] 基于LabVIEW的压电加速度传感器性能分析测试系统 [J].

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[5]

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