SiC晶须表面涂覆Al2O3的溶胶-凝胶工艺及机理

被引：10

作者：

张宗涛

黄勇

胡晓清

江作昭

机构：

[1] 清华大学材料科学与工程系

来源：

关键词：

SiC晶须; 溶胶-凝胶工艺; 涂层; 异丙醇铝;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1991.06.016

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

用异丙醇铝为先驱体通过溶胶-凝胶工艺成功地在SiC晶须表面涂覆了5—30nm的Al2O2涂层。认为SiC表面与Al（OC2H7）2（OH）形成配位键并构成胶团是形成涂层的重要机制。研究了溶胶浓度、晶须预处理,晶须直径和反复涂层对涂层效果的影响。

引用

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