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直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F2的简易求法
被引：1
作者：
周全德
赵向娅
孙月珍
机构：
[1] 中国上海测试中心上海市测试技术研究所
[2] 中国上海测试中心上海市测试技术研究所 上海
[3] 上海
来源：
关键词：
圆心;
F2;
修正因子;
圆片;
电阻率;
电阻系数;
求法;
D O I：
10.13290/j.cnki.bdtjs.1993.04.016
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
介绍Si片电阻率和薄层电阻的四探针法测量中,一种简便而精确的求非圆心处F2值的方法.
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