磁致伸缩微位移工作台的新型定位方法

被引：3

作者：

李恒菊

李银祥

邓志刚

姚向东

张立军

机构：

[1] 武汉理工大学材料学院

[2] 武汉理工大学材料学院湖北武汉

[3] 湖北武汉

来源：

磁性材料及器件 | 2005年 / 01期

关键词：

磁致伸缩; 微位移; 定位; 控制系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.13 [];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

稀土超磁致伸缩材料广泛应用于传感器、执行器。本文介绍了我们研制的一种磁致伸缩微位移工作台的结构、运动原理以及新型精密定位控制方法,即电磁式吸紧定位。实验测量微位移最小分辨率达2nm。整个微位移工作台结构简单,位移分辨率高,且能够实现双向可控运动。

引用

页码：29 / 31

页数：3

共 6 条

[1] 稀土磁致伸缩材料的应用 [J].

张文毓 .

金属功能材料, 2004, (04) :42-46

[2] 21世纪战略性功能材料——超磁致伸缩合金 [J].

王龙妹 .

新材料产业, 2002, (01) :23-26

[3] 具有纳米级分辨率的超精密定位工作台 [J].

林德教 ;

吴健 ;

殷纯永 .

光学技术, 2001, (06) :556-557+559

[4] 磁致伸缩材料的特性及应用研究(Ⅰ) [J].

胡明哲 ;

李强 ;

李银祥 ;

张一玲 .

稀有金属材料与工程, 2000, (06) :366-369

[5] 稀土超磁致伸缩材料的研究 [J].

黎文献 ;

余琨 ;

谭敦强 ;

马正青 ;

陈鼎 .

矿冶工程, 2000, (03) :64-67

[6] 微动工作台的研制及特性研究 [J].

董申 ;

陈丽霞 ;

刘海龙 .

航空精密制造技术, 1998, (06) :2-4

← 1 →