一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究

被引：5

作者：

曾毅

侯国章

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机电工程学院!黑龙江哈尔滨

来源：

关键词：

光纤传感器; 精密加工; 激光; 非接触检测;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点 ,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达 0 .4 μm,定位精度可达± 2 μm。

引用

页码：139 / 141

页数：3