高精密和超精密机床

被引：6

作者：

张曙 ^{[1
]}

卫汉华 ^{[2
]}

谭惠民 ^{[2
]}

黄仲明 ^{[2
]}

机构：

[1] 同济大学现代制造技术研究所

[2] 香港理工大学工业中心

来源：

航空制造技术 | 2012年 / 09期

关键词：

光学零件; 亚微米级; 光学元件; 机床; 精密加工; 慢刀伺服; 主轴; 传动轴; 快刀伺服; 刀具; 床身; 人造花岗石; 表面光洁度; 超精密车床; 自由曲面; 光学器件; 精度; 热变形; 塑性变形; 单晶金刚石; 运动轴;

D O I：

10.16080/j.issn1671-833x.2012.09.003

中图分类号：

TG66 [特种加工机床及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

随着航空航天、精密仪器、光学和激光技术的迅速发展,以及人造卫星姿态控制和遥测器件、光刻和硅片加工设备等各种高精度平面、曲面和复杂形状零件的加工需求日益迫切,超精密加工的应用范围日益扩大。它的特点是可以直接加工出具有纳米级表面光洁度和亚微米级形面精度的表面,借以实现各种优化的、高成像质量的光学系统,并促使光学电子设备的小型化、阵列化和集成化。

引用

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