多层介质中多导体拐角结构电容参数的提取

本文给出一种计算多层介质中多导体拐角互连结构的准静态电容参数的快速算法─—维数缩减技术（DRT），并和有限差分法相结合，快速、准确地提取了多层介质中多导体拐角结构的准静态电容矩阵。由于维数缩减技术能充分利用集成电路结构分层的特点，从而大大减少了计算所需的时间和存储空间。文中给出的计算结果与Ansoft软件的计算结果吻合得较好，而计算所需的时间和存储空间大大少于Ansoft软件。