三维形貌测量中自动调焦系统的设计

被引：3

作者：

童凯

任锐

李志全

机构：

[1] 燕山大学

[2] 装甲兵工程学院控制工程系

[3] 燕山大学河北秦皇岛

[4] 北京

[5] 河北秦皇岛

来源：

关键词：

自动调焦; 形貌测量; 干涉显微镜; 相移;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度。调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数。实验表明本系统自动调焦范围扩大到150m,自动调焦精度为0.3m,调焦时间为4-8s。

引用

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页数：4

共 4 条

[1] 图像式显微自动调焦、瞄准系统的研究 [J].

王建民 ;

浦昭邦 ;

尹继学 ;

晏磊 .

[2] 基于智能化自动调焦的高级显微镜系统 [J].

许盛 ;

李见为 .

[3] 基于图像处理的显微镜自动调焦方法研究 [J].

白立芬 ;

徐毓娴 ;

于水 ;

李庆祥 .

[4]

精密仪器设计.[M].薛实福;李庆祥编著;.清华大学出版社.1991,