双法—珀光纤干涉仪及条纹定位法读数

被引：7

作者：

王春和

叶声华

机构：

[1] 天津大学精密仪器系,天津大学精密仪器系

来源：

关键词：

nm; 光纤干涉仪; 微分电路; 逻辑电路; 腔长; 定位法; 定位方法; 自聚焦透镜;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1994.01.004

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

双法—珀干涉型光纤位移传感器对光源的相干性要求很低,发光二极管LED即可作为光源。这种光源的优点是可以克服半导体激光光源的初始条件模糊及反馈引起的噪声等。用干涉条纹定位法测量传感腔长的变化,定位重复精度为4nm。

引用

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