洁净空间新型气流分布末端——阻漏层的理论

净化系统把高效过滤器放在末端的做法，既有好处也有坏处，一旦末端发生漏泄（而这几乎是不可避免的），则其后再无保障体系，将产生无可挽回的后果，特别是对于单向流的高级别的洁净室。本课题提出的阻漏概念就是通过在末端设置亚高效的阻漏层，可以把原来集过滤、气流分布和堵漏密封要求于一身的高效末端风口移到静压箱外的一定位置上去并大大减少其数量（对于单向流），使其只管过滤作用，而把气流分布作用由阻漏层承担，并且把末端的密封要求大大简化。本文推导出的漏泄方程表明，一个针孔的漏泄可使气流浓度比无漏泄时高出４７５倍。同时从另一个角度证明了射流理论中的浓度公式。本文又推导出阻漏方程，表明阻漏层可使污染气流浓度降到无阻漏层时的５％左右。阻漏层的运用成为洁净室的新型气流分布方式的核心。