质量流量控制器控制原理分析

被引：17

作者：

王胜利

机构：

[1] 深爱半导体有限公司

来源：

电子工业专用设备 | 1998年 / 04期

关键词：

半导体生产工艺，质量流量，控制，气体;

D O I：

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中图分类号：

TP13 [自动控制理论]; TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

080201 [机械制造及其自动化]; 080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

质量流量控制器（ＭＦＣ）是一种闭环控制器，能根据设定值对气体“量”进行精确稳定控制，而不受气体压力、温度的影响。

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页数：5

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