基于小波变换的IC缺陷轮廓曲线分形维估计

被引：3

作者：

孙晓丽

宋国乡

机构：

[1] 西安电子科技大学理学院

来源：

关键词：

IC缺陷轮廓; 小波变换; 分形维; 集成电路;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN403 [结构];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径。

引用

页码：126 / 128

页数：3

共 4 条

[1] 基于关键面积的冗余集成电路成品率分析 [J].

赵天绪 ;

段旭朝 ;

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[2] 机械加工表面形貌分形特征的计算方法 [J].

王安良 ;

杨春信 .

赵天绪 ;

郝跃 .

[4] IC制造中真实缺陷轮廓的分形特征 [J].

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郝跃 ;

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