超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系

被引：3

作者：

白雪冬

黄荣芳

闻立时

机构：

[1] 中国科学院金属研究所!沈阳

来源：

关键词：

光学函数; 介电函数; 超薄铝膜;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1999.02.006

中图分类号：

TB74 [真空材料];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

利用WFZ90 0 D4型紫外 /可见光分光光度计 ,测量了磁控测射超薄Al膜的可见光反射比和透射比。采用牛顿辛普森方法确定超薄Al膜光学函数 ,进而计算其介电函数 ,得到了它们随膜厚变化的关系。结果表明 ,不同特征尺寸的薄膜 ,具有不同的电磁特性参数

引用

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