Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用

被引：11

作者：

娄利飞

杨银堂

张军琴

李跃进

机构：

[1] 西安电子科技大学微电子研究所宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室

来源：

机械科学与技术 | 2005年 / 07期

关键词：

微传感器; 有限元法; 压电分析;

D O I：

10.13433/j.cnki.1003-8728.2005.07.032

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

研究的PZT压电薄膜微传感器采用的弹性敏感元件为微悬臂梁结构,在压电原理和材料力学理论的基础上,采用简化的等效微器件结构建立了数学分析模型,将有限元方法发展应用于压电材料的结构分析中,并运用有限元软件Ansys7.0对PZT压电薄膜微悬臂梁结构的传感性能和线性度进行了模拟,同时分析了微悬臂梁结构的几何参数对输出电压的影响,这些分析结果和解析预测是一致的。

引用

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