论等离子体在表面技术中的应用

被引：9

作者：

邸柏林

机构：

[1] 东北大学表面技术研究所

来源：

表面技术 | 1995年 / 01期

关键词：

表面技术; 等离子体;

D O I：

10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.1995.01.001

中图分类号：

TG174.4 [金属表面防护技术];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

介绍了表面技术领域中应用等离子技术的诸种现代工艺及其工作原理;讨论了等离子体在这些工艺过程中的行为作用,由其引发形成的工艺与产品的特点,以及这些工艺的应用发展前景。

引用

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共 3 条

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