面向MEMS的微细加工技术

被引：18

作者：

罗均

谢少荣

龚振邦

机构：

[1] 上海大学

来源：

电加工与模具 | 2001年 / 05期

关键词：

微机械; MEMS; 微细加工技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH706 [制造工艺];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

MEMS技术将是 2 1世纪科技与产业的制高点之一 ,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。微细加工技术在传统光刻工艺的基础上 ,又发展了灰调光刻、Lift Off、LIGA及准LIGA、激光和分子装配等适应三维结构的新技术。本文综述了目前国内外各种微细加工及其关键技术的研究状况 ,并介绍了微细加工技术和MEMS的发展趋势

引用

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