微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究

被引：3

作者：

杜春雷

邱传凯

邓启凌

潘丽

白临波

王永茹

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点开放实验室

[2] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点开放实验室四川成都

[3] 四川成都

来源：

关键词：

微透镜列阵; 红外焦平面探测器; 集成芯片; 热成像;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。

引用

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