STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究

被引：5

作者：

李俚

李尚平

梁洁

韦宏

机构：

[1] 广西大学机械工程学院,广西大学机械工程学院,广西大学机械工程学院,广西大学机械工程学院广西南宁,广西南宁,广西南宁,广西南宁

来源：

关键词：

扫描隧道显微镜; 检测; 微观形貌;

D O I：

10.13624/j.cnki.issn.1001-7445.2003.01.012

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

通过自行研制扫描隧道显微镜(ScanningTunnelingMicroscope,以下简称STM)检测了超精机械加工试件表面微观形貌,生成三维立体形貌图,对微观形貌图进行分析.了解相关的加工机理及微观表面形貌缺陷发生的原因,为提高超精加工表面质量及优化加工工艺过程提供了一些参考依据.

引用

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