(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式

被引：4

作者：

郭涛

范波

郭虎岗

高健飞

机构：

[1] 中北大学电子测试技术国家重点实验室

来源：

纳米技术与精密工程 | 2008年 / 01期

关键词：

梁-质量块结构微加速度计; 湿法腐蚀; 凸角补偿; 各向异性腐蚀;

D O I：

10.13494/j.npe.2008.015

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量块结构的加速度计为模型,为了在加工过程中,得到完整的质量块结构,使结构具有更好的对称性,对各种凸角补偿方式进行了研究.利用(100)面硅片各向腐蚀速率的快慢特性和一定的几何知识,计算出各种凸角补偿方式最佳的补偿几何尺寸模型.这样,在设计加速度计制造工艺时,就可以直接利用这些尺寸模型,得到最佳的结构.

引用

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