Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性

被引：5

作者：

胡晓萍

虞晓江

赖倩茜

李戈扬

机构：

[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室

[2] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海

[3] 上海

来源：

电子显微学报 | 2002年 / 05期

关键词：

纳米复合薄膜; Ti-Si-N; 薄膜硬度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

引用

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页码：631 / 632

页数：2

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共 2 条

[1]

Veprek S,Nesladek P,Niederhofer A,et al. Surface and Coatings Technology . 1998

[2]

Stan Veprek. Journal of Vacuum Science Technology A Vacuum Surfaces and Films . 1999