半导体基片表面微小高温区域的红外测温系统

被引:2
作者
吴云峰
叶玉堂
焦世龙
杨先明
秦宇伟
范超
机构
[1] 电子科技大学光电信息学院
[2] 电子科技大学光电信息学院 四川成都
[3] 四川成都
关键词
红外测温系统; 激光焦斑; 自动测量;
D O I
暂无
中图分类号
TN307 [测量和检验];
学科分类号
0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;
摘要
利用红外辐射测温原理,设计成半导体基片上激光焦斑温度不接触测量系统。该系统由透镜成像系统、探测器、精密电动平台及相关电路和软件组成,其测温范围大,温度分辨力可达0.2K, 还可得到温度-时间关系曲线;可自动测量热斑的温度分布及寻找热斑的最高温度区域;测量区域的最小直径为18mm。
引用
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页码:32 / 35+42 +42
页数:5
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