Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001)量子双环形貌的影响

被引：2

作者：

李志宏 ^{[1
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丁召 ^{[1
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汤佳伟 ^{[1
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王一 ^{[1
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罗子江 ^{[4
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马明明 ^{[1
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黄延彬 ^{[1
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张振东 ^{[1
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郭祥 ^{[1
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机构：

[1] 贵州大学大数据与信息工程学院

[2] 半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心

[3] 贵州省微纳电子与软件技术重点实验室

[4] 贵州财经大学信息学院

来源：

物理学报 | 2019年 / 68卷 / 18期

关键词：

同心量子双环; 团簇扩散动力学; 原子力显微镜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O641.1 [化学键理论]; O413 [量子论];

学科分类号：

摘要：

采用液滴外延法在GaAs (001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings, CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果发现,随着Ga液滴沉积速率的增加, CQDRs的密度增加,内外环半径均降低.根据成核理论中最大团簇密度和Ga液滴沉积速率之间的关系拟合出临界成核原子数目为5,表明在Ga液滴形成阶段时稳定的Ga原子晶核至少包含5个Ga原子;根据成核理论和拟合结果绘制成核过程状态转化图以深入理解Ga液滴形成过程.相关研究结果对液滴外延法制备密度可控的GaAs同心量子双环具有一定的指导意义.

引用

页码：126 / 131

页数：6

共 6 条

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