变包含角平面光栅单色器及其关键技术

被引：3

作者：

陈家华 ^{[1
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薛松 ^{[1
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卢启鹏 ^{[2
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彭忠琦 ^{[2
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邰仁忠 ^{[1
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王勇 ^{[1
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陈明 ^{[1
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吴坤 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院上海应用物理研究所

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

来源：

中国科学:物理学力学天文学 | 2011年 / 41卷 / 01期

关键词：

同步辐射; 变包含角平面光栅单色器; 关键技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

O434.11 [辐射];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

分析设计并研制了上海光源软X射线谱学显微光束线站的变包含角平面光栅单色器,经过精密加工调试,保证了扫描系统的转角重复精度;采用多孔腔内部通道水冷方法,控制了镜子表面热变形;完成真空箱体大尺寸方法兰加工与密封,达到了单色器工作所需的超高真空.通过上述关键部件的精确掌控,确保了单色器主要性能——光子能量范围、能量分辨率和能量重复性,均优于设计指标.

引用

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