超声振子箝位压电直线微动马达研究

被引：13

作者：

周铁英

董蜀湘

刘小萍

李龙土

张孝文

机构：

[1] 清华大学

[2] 清华大学北京

[3] 北京

来源：

关键词：

马达; 箝位; 振子; 检流计; 微动; 压电; 超声;

D O I：

10.15949/j.cnki.0371-0025.1993.01.004

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文提出一种利用环形三叠片超声振子箝位的压电直线微动马达.这种马达的箝位振子与导轴形成摩擦付。振子共振时其动摩擦系数与静摩擦系数之比降为～0.1。箝位振子的激励电压仅为±80V(峰峰值).马达速度为0—2mm/min;位移分辨率为50nm;驱动力约0.2kgf.这种马达还具有工艺简单的特点.

引用

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