离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响

被引：2

作者：

齐军

雒建斌

王静

李文治

温诗铸

机构：

[1] 清华大学!北京

来源：

关键词：

类金刚石薄膜; IBAD; 纳米硬度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O4845 []; TB3023 [];

学科分类号：

摘要：

研究了利用IBAD方法沉积类金刚石薄膜时,离子的辅助轰击能量对薄膜的微观结构、表面粗糙度、弹性、硬度以及摩擦系数的影响,获得了机械和摩擦性能优异的类金刚石薄膜。讨论了薄膜微观结构和性能之间的关系,分析了不同硬度测试方法的差异。

引用

页码：3 / 5+44

页数：4

共 10 条

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