铁电-硅微集成系统附视频

被引：19

作者：

李志坚

任天令

刘理天

机构：

[1] 清华大学微电子学研究所!北京

来源：

关键词：

铁电膜; 微集成; 硅工艺; 硅基; 存储器; 存贮器; 计算机; 铁电材料; 赛格涅特电材料; 电介质; 铁电薄膜材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN45 [混合集成电路];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

铁电 -硅微集成系统 ( FSMIS)是铁电材料与硅工艺相结合的产物 ,在微电子机械系统( MEMS) ,存储器等多方面具有极为重要的应用价值 .本文介绍了几种重要的硅基铁电膜的制备方法和几种典型的 FSMIS应用方向 ,并对 FSMIS领域的未来发展作出展望 .

引用

页码：177 / 182

页数：6

共 9 条

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