等离子体化学气相淀积TiO2薄膜材料

被引:7
作者
沈瑜生
张俊颖
相承宗
机构
[1] 中国科学技术大学
关键词
薄膜; TiO2; 等离子体化学气相淀积; 气敏元件;
D O I
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摘要
本文报导了以钛酸丁酯((C4H9O)4Ti)为反应源物质,采用等离子体化学气相淀积(P-CVD)技术,在不同衬底上淀积出性能良好的TiO2薄膜材料,并对其结构和气敏特性进行了初步研究。
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共 1 条
[1]  
M.Yokozana,H.Iwasa and I.Teramoto,Japan J.Appl. Physica .