MEMS陀螺振动特性试验技术

被引：9

作者：

迟晓珠

崔健

闫桂珍

机构：

[1] 北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室

来源：

传感技术学报 | 2008年 / 04期

关键词：

微机械陀螺; 振动特性; 频响函数;

D O I：

暂无

中图分类号：

V241.5 [陀螺仪表];

学科分类号：

08 ; 0825 ;

摘要：

对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用不同的方法进行动态试验。本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统,并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系统传递函数的快速测定方法,分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题。

引用

页码：559 / 562

页数：4