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压电陶瓷微位移驱动器在精密工件台上的应用研究
被引：5
作者：
荆涛
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
来源：
关键词：
误差补偿；压电陶瓷；微量位移;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH161.21 [];
学科分类号：
摘要：
以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。一个是对工件台的微动台进行驱动，另一个是对导轨直线进行误差补偿。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪、以及由ＩＢＭＰＣ机和几个８０３１单片机的主从控制系统
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