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压阻式压力传感器的动态特性
被引：7
作者：
戴艳梅
王文襄
机构：
[1] 不详
[2] 河北省技术监督局
[3] 不详
[4] 宝鸡传感器研究所
[5] 不详
来源：
关键词：
压阻,平膜片,压力传感器,固有频率;
D O I：
10.13873/j.1000-97871999.03.016
中图分类号：
TH823.203.2,TH823.20 [];
学科分类号：
摘要：
综合分析了敏感元件构形与尺寸及传感器的封装结构对动态压力测量的影响。给出了几种ＣＹＧ压阻式压力传感器在动态压力测量时的频响特性的理论计算值与实验值。
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